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加热电源
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适用于单晶硅，多晶硅加工领域。 产品特点： 采用先进的多机并联同步均流输出技术，能实现多台电源电流均输出 采用N+X冗余备用系统。所有模块都参与工作，一日其中某一个模块失效，系统自动将故障单元退出，其它模块共同分 担故障单元电流，使总输出电压电流保持不变，待生产完毕可将故障模块取出维护，大大提高电源的可靠性; 増加辅助加热电源，少主电源柜的高温负荷时间降低事故发生率; 使用底部加热器，实现晶棒降氧，提高单晶的品质; 化料时间快，对坩埚加热更均匀，料温更稳定，减少坩锅漏硅的机率; 全数控制高频开关电源，节能、稳定，更抗开扰性 RS485网络控制系统，控制信号无衰，保证输出精度高。
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